北方华创 多领域接连取得新进展

先是“高端集成电路装备研发及产业化项目”(以下简称“三期工程”)主体结构圆满封顶，接着第100台立式炉设备完成交付仪式。近期，北方华创在多个领域取得积极进展，为企业实现高质量发展打下坚实基础。

　　伴随着最后一斗混凝土的浇筑到位，9月29日，北方华创三期工程主体结构封顶，标志着项目取得了重要的阶段性胜利，为确保按期投入使用奠定了坚实的基础。据了解，三期工程将用于前沿技术代装备的研发及核心零部件的合作开发，建成后有利于加速形成经开区集成电路产业集聚效应，完善产业布局。

　　10月19日，北方华创在生产基地隆重举行IC领域立式炉第100台设备交付仪式。立式炉从无到有，逐步实现市场化、产业化，目前已形成氧化、退火、化学气相沉积、原子层沉积四大工艺系列，在充分保障客户工艺需求的情况下，其工艺性能、产能等方面得到了持续提升。产品的高精度温度控制能力、严格的金属污染控制能力以及稳定的传输控制能力，兼顾了工艺目标的实现与生产可靠性，为量产提供了保障。立式炉不仅是北方华创在IC领域业务发展的一大突破，也是其坚持自主研发的成果体现，更是国产立式炉设备产品性能、质量与服务得到客户广泛认可的重要标志。

　　相关负责人说，作为半导体高端工艺装备企业，北方华创将积极探寻各种新技术的应用，并持续推动市场化、产业化、国际化，以更优质的产品服务全球客户。